首先光学干涉测厚仪应用在哪些方面呢？典型应用：光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Ｍylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量。应用在涂胶工序时，该设备可放置于涂胶池后、烘箱前，在线测量涂胶的厚度；也可以在线测量离型膜涂布的厚度。其精度极高，应用甚广，尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。
大成精密生产的光学干涉测厚仪有一下几点特点：
1、在线实时扫描测量薄膜的厚度，实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势，帮助反馈调节生产设备，实现更稳定一致的生产
2、可输出横向纵向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等统计参数
3、高精密厚度测量，重复精度达0.4nm
4、可同时检测多层材料厚度
5、适用于光滑表面透明膜厚度测量
6、典型应用于：光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶 带、Ｍylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量