磁控溅射中试线基本参数
基片最大尺寸:356mm × 406mm
溅射室极限真空:<1×10-6Torr within 8hrs
排气性能: <9×10-5Torr within 30min
基片加热:最高温度400℃,均匀性±5%以内
溅射阴极:平面阴极3条 500mm(H)×125mm(L)×9mm(T)
旋转阴极2对 500mm(H)×133mm(ID)
溅射电源:直流电源(10kW),中频电源(10kW)

磁控溅射中试线用途
金属膜代加工,工艺授权(各种颜色可调金属/非金属膜;衣服,灯,空调等颜色可调小装饰片,铝膜,铜膜等)
硬质膜工艺授权(氧化锆高耐磨性膜,碳膜,DLC高硬膜等)
复合膜工艺授权(氮氧化钛等)
氧化物介质膜(氧化钛,氧化锆等)
Low-e工艺授权
导电膜工艺授权(ITO,AZO)
减反膜,消影膜,蓝膜等工艺授权。
旋转靶/平面靶靶材测试
大面积液相辊涂镀膜系统基本参数
镀膜的基板品种:太阳能超白压花玻璃、平板玻璃、硅片等;
基片最大尺寸:300×600mm;
基片传动速度:0-10m/min,可分段无级调节;
基片厚度:2-10mm;
基片加热:最高加热温度250℃,均匀性200±3℃;
电雕辊和镀膜胶辊运动中的跳动精度小于0.05mm,镀膜辊与基片的间隙可连续调整,调整精度≤0.001mm;

太阳能玻璃减反膜(AR)、自洁防雾薄膜(包括光催化亲水膜、疏水膜)、智能窗用二氧化钒热致变色薄膜、光致变色薄膜等功能膜的制备,代加工,以及工艺授权。
我所拥有强大的研发团队,14名研究员中硕士以上学历者十一人,博士以上学历者两人,均有丰富的工厂&研究所工作经验。
现承接各种工艺需求,代加工。
磁控溅射设备有需要者咨询金老师,电话:13335522658。
辊涂镀膜系统有需要者请咨询金工,电话:13865089524。
地址:安徽省蚌埠市东海大道761号。
基片最大尺寸:356mm × 406mm
溅射室极限真空:<1×10-6Torr within 8hrs
排气性能: <9×10-5Torr within 30min
基片加热:最高温度400℃,均匀性±5%以内
溅射阴极:平面阴极3条 500mm(H)×125mm(L)×9mm(T)
旋转阴极2对 500mm(H)×133mm(ID)
溅射电源:直流电源(10kW),中频电源(10kW)

磁控溅射中试线用途
金属膜代加工,工艺授权(各种颜色可调金属/非金属膜;衣服,灯,空调等颜色可调小装饰片,铝膜,铜膜等)
硬质膜工艺授权(氧化锆高耐磨性膜,碳膜,DLC高硬膜等)
复合膜工艺授权(氮氧化钛等)
氧化物介质膜(氧化钛,氧化锆等)
Low-e工艺授权
导电膜工艺授权(ITO,AZO)
减反膜,消影膜,蓝膜等工艺授权。
旋转靶/平面靶靶材测试
大面积液相辊涂镀膜系统基本参数
镀膜的基板品种:太阳能超白压花玻璃、平板玻璃、硅片等;
基片最大尺寸:300×600mm;
基片传动速度:0-10m/min,可分段无级调节;
基片厚度:2-10mm;
基片加热:最高加热温度250℃,均匀性200±3℃;
电雕辊和镀膜胶辊运动中的跳动精度小于0.05mm,镀膜辊与基片的间隙可连续调整,调整精度≤0.001mm;

太阳能玻璃减反膜(AR)、自洁防雾薄膜(包括光催化亲水膜、疏水膜)、智能窗用二氧化钒热致变色薄膜、光致变色薄膜等功能膜的制备,代加工,以及工艺授权。
我所拥有强大的研发团队,14名研究员中硕士以上学历者十一人,博士以上学历者两人,均有丰富的工厂&研究所工作经验。
现承接各种工艺需求,代加工。
磁控溅射设备有需要者咨询金老师,电话:13335522658。
辊涂镀膜系统有需要者请咨询金工,电话:13865089524。
地址:安徽省蚌埠市东海大道761号。