在Partulab数十位工程师和用户的共同努力和见证下，让薄膜介电测量系统有了全新定义。全新的薄膜介电测量系统实现低温-160℃到高温400℃下测量薄膜电介质材料。
薄膜介电测量系统技术规格
探针臂个数：4个或6个
测量温度： 10K~675K
测量精度：0.05%
测量参数：C电容
最大样品尺寸：≤51mm
XYZ位移平台行程：X轴51mm,精度20μm；Y轴25mm,精度10μm；Z轴25mm,精度10μm数据传输：4个USB接口
薄膜介电测量系统测量原理
该系统配备SRS公司的CTC-100低温温控仪与Wayne Kerr阻抗分析仪和MEMS多功能材料电学测量软件无缝连接，实现薄膜电介质材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。
样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。
标准配置
Partulab CPS系列低温真空探针台：CPS-7000或CPS-80000；PPS-90真空辅助系统；
VSZ70KIT可视化视觉系统
Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）：6500B精密阻抗分析仪
Partulab DielectricMeaskit测量套件：FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough
CSH-DE 介电同轴样品固定座
DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm
PA-DE 介电测量探针臂
MEMS多功能材料电学测量分析软件
薄膜介电测量系统技术规格
探针臂个数：4个或6个
测量温度： 10K~675K
测量精度：0.05%
测量参数：C电容
最大样品尺寸：≤51mm
XYZ位移平台行程：X轴51mm,精度20μm；Y轴25mm,精度10μm；Z轴25mm,精度10μm数据传输：4个USB接口
薄膜介电测量系统测量原理
该系统配备SRS公司的CTC-100低温温控仪与Wayne Kerr阻抗分析仪和MEMS多功能材料电学测量软件无缝连接，实现薄膜电介质材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。
样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。
标准配置
Partulab CPS系列低温真空探针台：CPS-7000或CPS-80000；PPS-90真空辅助系统；
VSZ70KIT可视化视觉系统
Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）：6500B精密阻抗分析仪
Partulab DielectricMeaskit测量套件：FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough
CSH-DE 介电同轴样品固定座
DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm
PA-DE 介电测量探针臂
MEMS多功能材料电学测量分析软件
