花生财经,光刻胶发展史1839年苏格兰发明家曼戈·庞东发现了重铬酸盐明胶的感光潜力,他借助重铬酸盐明胶开发了世界上第一套“光刻系统”。
01 上世纪50年代贝尔实验室尝试开发全球首块集成电路的过程中,重铬酸盐明胶制成的半导体光刻胶由此诞生。对于当时的初代光刻工艺来说,重铬酸盐明胶的分辨率已足够,但抗蚀性能不佳,无法充分阻止氢氟酸对硅片的刻蚀。为解决这一问题,贝尔实验室找到柯达公司,柯达首先开发了新型光刻胶体系,其产品以KPR商品名称来供应市场。
由此可见,整个半导体行业起源自美国,柯达公司的KPR光刻胶可谓半导体光刻胶的改良之作。直至上世纪81年代,美国IBM仍然在光刻胶的开发中遥遥领先。