前几天今日头条上看到我国研制了新型40nm波长深紫外光刻光源

前几天今日头条上面报道说我国突破了一种40nm波长的深紫外光刻光源现在找不到了因为没记住标题谁知道告诉我一下

谁知道回答下

真不清楚

美国制裁加码，就算有新闻也会被火速撤下

我觉得这是吹牛的

你想找的是极紫外还是深紫外？

duv深紫外是193纳米,曝光后经过5组镜片形成的光线是65纳米。5组镜片加一层水，出的光线是38纳米。38纳米加10纳米的掩码，一次曝光就可以形成28纳米工艺。
Euv一次曝光爆出的光线是17.5纳米，euv不能透水.
日本搞出过一个157纳米的duv光源,透过5组镜片小于65纳米,但是不能透水,和38纳米的沉浸式光刻机比没有优势,已经不再发展

看今日头条40nm波长的一种新型短波长深紫外光源可以做euv国产之前的过渡产品谁看过这个文章告诉我一下标题标题忘记了

不会是同步加速自由电子相干光源吧？大哩个大，贵里个贵，有工业前途吗？

扫二维码下载贴吧客户端

下载贴吧APP
看高清直播、视频！

17回复贴，共1页

<<返回龙芯吧

分享到:

日	一	二	三	四	五	六