某些较为贵重又对温度十分敏感的农副土特产品、营养食品以及贵重药材若采用常规蒸汽或电热干燥，会使一些对温度敏感的成分和营养物质氧化分解，破坏变质。微波真空干燥设备，就是真空技术与微波加热技术相结合，兼备了微波和真空干燥的一系列优点，来实现低温干燥，克服了常规真空设备干燥周期长、效率低的缺点。
特点
1.快速高效：由于微波直接对物料加热，不加热空气，降低了加热过程中的额外热量损耗，比传统加热方法可节省30%-90%的能耗，速度快5-10倍
2.加热均匀：无论物体各部分形状如何，微波加热均可使物体表里同时均匀渗透电磁波二产生热能，所以加热均匀性好，不会产生外焦内生的现象
3.易于控制：微波加热的热惯性极小，具有即时性。因此能保证加工物料高品质
4.杀菌保鲜：微波加热具有热力和生物效应，能在较低温度下灭菌防霉，由于加热速度快时间短，能最大限度的保存物料的活性和食物中的维生素、原有的色泽和营养成分。大大延长物质的保存期和减少对防腐剂的依赖
5.成本低廉：对于各种中药丸剂的干燥，能耗低，产量大；能耗约为螺旋面振动流化床和平面振动流化床的1/3.对于浸膏（特别是中药浸膏）的干燥，是喷雾干燥机能耗的1/5，占地面积是替他干燥设备的1/3