成都沃特塞恩电子一直致力于射频能量应用的发展，顺应市场发展，沃特塞恩研发的这款13.56MHz/3kW全固态射频电源采用全固态射频功放技术，工作频率范围为13.56MHz，功率范围从2W至3KW，是为半导体生产制造新一代功率源。其主要由电源模块、射频发生器、射频放大器、控制系统、接口模块以及冷却装置等6大部分构成。
沃特塞恩固态射频电源具有能耗低、体积小、寿命长、性能稳等优点。
* 频率源采用 DDS 直接数字频率合成技术，频率稳定度高；
* 射频电源有着很好的功率稳定度；
* 适应多种驻波比的负载；
* 拥有完善的保护电路，保证射频电源可靠运行；
* 电源功放使用贴片型半导体三极管制作，寿命比传统分立式三极管更长；
可应用于等离子体刻胶、等离子蚀刻 、 RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源等