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取代传统晶圆背金层蒸镀方式的无电解化学镀镍钯金层新材料新工艺

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传统大功率晶圆背金层和铝电极采用蒸镀方式;需要昂贵的真空镀膜装置和曝光设备;设备兼容性不好;无电解化学镀镍钯金层新工艺无需剥离和蚀刻工序,于2000年在日本开始使用于驱动IC领域;2015年开始大量量产应用于功率器件:优点:1.无需昂贵的真空镀膜装置和曝光设备2.省略剥离和蚀刻工序3.消除铝合金电极(如AL,AL+Cu;AL+Si等电极材料)镀膜外观差异4.消除具有电位差的电极析出不良问题5.形成最优UBM层6.良好稳定的焊锡邦定性能7.减少邦定时锡的迁移(大功率晶圆背面采用无电解化学镀镍钯金层工艺)我司提供在日本大功率晶圆方面有大量实绩的无电解化学镀液(国内已有厂家在使用;用于邦定时采用CLIP邦定方式的大功率晶圆背面镀层)有兴趣了解的朋友欢迎交流


IP属地:江苏1楼2023-03-01 23:58回复
    怎么联系。


    IP属地:北京2楼2024-09-09 10:56
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