>254nm 非接触式光波照射，无电弧损伤晶圆
线路问题。
>采用350W/500W灯管,高254nm照度,高ERASE效率
>采用栅栏灯管拼接，高照射均匀度
>无臭氧问题，不需厂务热排
>操作安全性高操(防漏光/抽屉误开熄灯设计)#封测#
线路问题。
>采用350W/500W灯管,高254nm照度,高ERASE效率
>采用栅栏灯管拼接，高照射均匀度
>无臭氧问题，不需厂务热排
>操作安全性高操(防漏光/抽屉误开熄灯设计)#封测#
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