plasma等离子清洗机是一款通过plasma(等离子体)进行表面处理的设备,设备的核心所在就是plasma了,通过它对材料进行处理,达到表面清洁、表面活化、表面改性、表面刻蚀等等作用,那么plasma等离子清洗机是如何进行工作的呢?
一、plasma等离子清洗机原理
密闭的反应腔体(真空室、真空腔体)被真空泵不断抽气,从1个标准大气压下降到设定的压力值并维持真空度;启动等离子发生器,让反应腔体内电极之间产生高压交变电场,使得自由电子能量加速,去激发工艺气体分子形成等离子体;具有高反应活性或高能量的等离子体,会与有机污染物及微颗粒污染物反应、碰撞形成各种挥发性物质;这些挥发性物质伴随工艺气流由真空泵抽取出去,从而达到被处理对象表面清洁、活化等目的。
一、plasma等离子清洗机优势
1、反应过程无需水参与,避免湿法工艺处理后,需要干燥处理的麻烦;
2、无需湿法工艺处理后,废水、废弃溶剂的处理,降低了成本;
3、表面处理效果强,清洗的同时还能表面活化改性,提高粘接力;
4、处理过程短,整个过程反应高效快捷,解决表面处理难题;
plasma等离子清洗机目前在半导体、新能源、汽车、医疗等等领域广泛使用,解决用户在材料表面清洗、活化、刻蚀等方面的难题。
一、plasma等离子清洗机原理
密闭的反应腔体(真空室、真空腔体)被真空泵不断抽气,从1个标准大气压下降到设定的压力值并维持真空度;启动等离子发生器,让反应腔体内电极之间产生高压交变电场,使得自由电子能量加速,去激发工艺气体分子形成等离子体;具有高反应活性或高能量的等离子体,会与有机污染物及微颗粒污染物反应、碰撞形成各种挥发性物质;这些挥发性物质伴随工艺气流由真空泵抽取出去,从而达到被处理对象表面清洁、活化等目的。
一、plasma等离子清洗机优势
1、反应过程无需水参与,避免湿法工艺处理后,需要干燥处理的麻烦;
2、无需湿法工艺处理后,废水、废弃溶剂的处理,降低了成本;
3、表面处理效果强,清洗的同时还能表面活化改性,提高粘接力;
4、处理过程短,整个过程反应高效快捷,解决表面处理难题;
plasma等离子清洗机目前在半导体、新能源、汽车、医疗等等领域广泛使用,解决用户在材料表面清洗、活化、刻蚀等方面的难题。