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国产Mirau干涉物镜

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通常都认为激光可以产生干涉,其实白光也能干涉,只不过相对于激光而言,白光产生干涉需要的条件比激光要苛刻。
激光波长单一,白光是宽带光。激光的相干长度很长,而白光相干长度甚至不足1μm。因此上实现白光干涉难度较大。
Mirau干涉物镜主要应用在白光干涉检测中,使用时只需要安装在光路中,调整到图像清晰就可以观察到白光干涉条纹。
激光干涉通常可以用到精密测量,甚至也可以计量。白光干涉的测量精度远高于激光干涉测量。因此上白光干涉在芯片检测,微纳制造,高精度制造业检测应用中越来越得到应用。
国产的干涉物镜随着芯片行业的发展,国产化的推进也得到了发展。西安恩科微纳光电科技有限公司,已经有多款不同类型的白光干涉物镜在白光干涉检测领域得以应用。






IP属地:陕西1楼2024-04-01 09:38回复