国内高性价比工具镀设备，台湾PVD工具镀设备
直径1400✘高度1300型号8轴，轴距350mm，配8套回字形加热器，可加温到450℃，配置12个160大弧带电磁驱动，2个IET刻蚀源，配置莱宝MAGW1600iPL磁悬浮分子泵2台插板阀控制，一台SV300莱宝机械泵，一台莱宝SU2401罗茨泵，一台莱宝维持泵，配瑞士伊萨TG3000i弧电源，配一套电磁线圈驱动电源，配一套霍庭格4036脉冲偏压电源，全自动控制