九层新振华侧开门2200×3000mm多弧+蒸发+中频磁控溅射镀膜机，配置22个弧源，预留2对中频磁控溅射圆柱靶位置，一套防指纹蒸发系统，一套中频轰击系统，一台50千瓦偏压电源，一台两套KT-1000扩散泵，两台ZJP-1200罗茨泵，8台2X-70机械泵，两台2X-15升维持泵，四路七星华创加气系统
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