半导体封装主要涉及一下烘烤工艺:
固晶胶固化烘干:工艺温度 100-150℃,应用设备为鑫金晖封装隧道炉
引线键合前清洗烘干:工艺温度 50-80℃,应用设备为鑫金晖热风循环烘箱
塑封料固化烘干:工艺温度 150-180℃,应用设备为鑫金晖框架式隧道烘箱
晶圆涂胶后预烘:工艺温度 60-120℃,应用设备为鑫金晖胶水固化隧道炉
底部填充胶(Underfill)固化:工艺温度 80-150℃,应用设备为鑫金晖分段控温隧道炉
固晶胶固化烘干:工艺温度 100-150℃,应用设备为鑫金晖封装隧道炉
引线键合前清洗烘干:工艺温度 50-80℃,应用设备为鑫金晖热风循环烘箱
塑封料固化烘干:工艺温度 150-180℃,应用设备为鑫金晖框架式隧道烘箱
晶圆涂胶后预烘:工艺温度 60-120℃,应用设备为鑫金晖胶水固化隧道炉
底部填充胶(Underfill)固化:工艺温度 80-150℃,应用设备为鑫金晖分段控温隧道炉