白光干涉仪吧
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    白光干涉对于环境防振要求高的原因,主要可以从其测量原理和应用需求两个方面来解释。 一、测量原理 白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束,一束光经被测表面反射回来,另一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化都会灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率
    万智ONEZ 1-22
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      Sensofar共聚焦白光干涉仪与传统白光干涉仪在测量原理、功能及应用特点上存在显著差异。以下是对这两者的详细比较:   一、测量原理   1.传统白光干涉仪:   (1)基于白光干涉技术,通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。   (2)利用白光作为光源,结合精密Z向扫描模块和3D建模算法,对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。   (3)通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,获取反映器件表面质量的2D、
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    白光干涉的扫描高度受限,主要是由于其测量原理和技术特点所决定的。以下是对这一问题的详细解释: 一、白光干涉的测量原理 白光干涉技术是一种基于光的波动性进行测量的技术。当两束或多束相干光波在空间某点相遇时,它们会产生干涉现象,形成明暗相间的干涉条纹。这些干涉条纹的位置和形态取决于光波的相位差,而相位差则与光波经过的光程差有关。 在白光干涉测量中,通常使用白光作为光源,并通过干涉仪将光波分为两束:一束作为
    万智ONEZ 1-21
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    通过电光晶体的电光效应,实现白光干涉中的电光调制相移原理,是一个基于物理光学和电光学原理的高级测量技术。以下是对这一原理的详细解释: 一、电光效应与电光晶体 电光效应是指某些材料(主要是晶体)在外加电场的作用下,其折射率会发生变化的现象。这种效应是电光调制的基础。电光晶体是具有显著电光效应的材料,它们在外加电场的作用下,能够改变光的传播特性,如相位、振幅和偏振态。 二、电光调制原理 电光调制是利用电光
    万智ONEZ 1-20
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    通过改变光的偏振态,从而实现白光干涉中的光学相移原理,是一个涉及光学原理和技术的复杂过程。以下是对这一过程的详细解释: 一、光的偏振态与白光干涉 光的偏振是指光波在传播过程中,光矢量的方向和大小有规则变化的现象。白光干涉则是利用光的波动性,使两束或多束相干光波在空间某点相遇并产生明暗相间的干涉条纹。这些干涉条纹的形成取决于光波的相位差,而相位差则与光波经过的光程差和偏振状态有关。 二、偏振态的改变与光
    万智ONEZ 1-16
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    基于光的偏振特性和一些光学元件对光的调制作用,实现白光干涉中的光学相移原理是一个复杂而精细的过程。以下是对这一原理的详细解释: 一、光的偏振特性 光的偏振是指光波在传播过程中,光矢量的方向和大小有规则变化的现象。圆偏振光的电场矢量在平面内沿着一个圆形轨迹振动,可以分为左旋圆偏振光和右旋圆偏振光。而线偏振光则是光波在某一固定方向上的振动占优势的光。光的偏振状态可以通过偏振片进行调节,偏振片是一种具有偏
    万智ONEZ 1-15
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    在白光干涉测量技术中,通过样品台的移动来实现机械相移原理是一种常用的且高精度的方法。这种方法基于光的波动性和相干性,通过改变样品台的位置,即改变待测光线与参考光线之间的光程差,来实现相位调制,从而获取待测物体的精确信息。 一、基本原理 在白光干涉仪中,光源发出的光经过扩束准直后,通过分光棱镜被分成两束相干光:一束作为参考光,经过固定的光路到达干涉仪的接收屏;另一束作为待测光,经过样品台后被反射或透射
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    在白光干涉测量中,通过光学元件的插入与移除来实现机械相移原理是一种独特而有效的方法。这种方法的核心在于利用光学元件(如透镜、反射镜、棱镜等)对光路的改变,从而实现对相位差的调制。以下是对这一原理的详细解释: 一、基本原理 白光干涉测量基于光的干涉原理,即当两束相干光波在空间某点相遇时,它们会产生干涉现象,形成明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的形成取决于两束光的相位差,而相位差则与它们经过的光程差有关。通
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    一、基本原理 在白光干涉仪中,光源发出的光经过扩束准直后,通过分光棱镜被分成两束相干光:一束作为参考光,经过固定的光路到达干涉仪的接收屏;另一束作为待测光,经过样品台后被反射或透射,再与参考光相遇产生干涉现象。干涉条纹的形成取决于两束光的相位差,而相位差则与它们经过的光程差有关。 通过移动样品台,可以改变待测光线经过的路径长度,从而改变光程差和相位差。这种相位调制会导致干涉条纹的移动或变化,通过测量
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    一、初步应用阶段 在20世纪五六十年代,国内外相继出现了一些应用型白光干涉仪。这些干涉仪主要采用人工操作、读数、计算和测量评定某个参数,效率相对较低。这一时期的白光干涉技术主要应用于简单的表面形貌测量和厚度测量等领域。 二、智能化与自动化发展阶段 随着电子及计算机技术的飞速发展,白光干涉仪开始朝智能化与自动化方向发展。 1980年:基于相移技术测量原理的白光干涉自动表面三维形貌测量系统被提出。这一时期,白光干
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    一、反射镜移动精度要求高 白光干涉测量对光程差的改变非常敏感,即使是微小的移动也会导致显著的相位变化。因此,反射镜的移动必须非常精确,通常要达到纳米级别。这种高精度的移动要求机械系统具有极高的稳定性和分辨率。 二、机械系统稳定性挑战 反射镜的移动通常依赖于机械系统,如压电陶瓷、精密丝杠等。然而,这些机械系统容易受到温度、振动等外部因素的影响,导致移动不稳定。为了提高稳定性,需要采取一系列措施,如温度控
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    一、基本原理 在白光干涉仪中,光源发出的光经过扩束准直后,通过分光棱镜被分成两束相干光:一束作为参考光,另一束作为待测光。这两束光在空间某点相遇时,会产生干涉现象,形成明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的形态和位置取决于两束光的相位差,而相位差则与它们经过的光程差有关。 光学相移原理是通过多次等距改变参考光和待测光之间的光程差,实现干涉信号的相位调制。这种相位调制会导致干涉条纹的移动或变化,通过测量干涉条
    万智ONEZ 12-31
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    一、基于光程差的相位产生 基本原理: 当两束相干光波(如从同一光源发出的光波,经过不同路径后相遇)在空间某点相遇时,它们会产生干涉现象。 干涉条纹的形成是由于两束光波的相位差引起的,而相位差则取决于两束光波经过的光程差。 光程差的计算: 光程是指光在介质中传播的距离与介质折射率的乘积。 在白光干涉仪中,一束白光经过分束器被分成两束光线(参考光线和待测光线),这两束光线经过不同的路径后再次汇合,产生干涉条纹
    万智ONEZ 12-30
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    一、白光干涉仪测量原理 白光干涉仪利用白光干涉原理,通过测量反射光与参考光之间的光程差来精确获取待测表面的高度信息。其测量精度可达到纳米级别,非常适合用于测量1um以下的光刻深度、凹槽深度和宽度。 二、测量步骤与注意事项 样品准备: 确保待测样品表面干净无尘,无油污或其他污染物,因为这些会影响干涉图样的清晰度和测量精度。 对于光刻和凹槽结构,需要特别注意保持其完整性,避免在测量过程中造成损伤。 仪器设置与校准
    万智ONEZ 12-27
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    Sensofar白光干涉仪是一种基于白光干涉原理的高精度表面形貌测量仪器,广泛应用于材料科学、半导体、光学元件、精密机械加工和微纳米技术等领域。它利用白光干涉技术来进行无接触、高分辨率的表面分析。Sensofar白光干涉仪以其高精度、易操作和多功能性广受青睐。 Sensofar白光干涉仪的主要特点 1.高分辨率和高精度:Sensofar白光干涉仪能够提供纳米级别的表面形貌测量精度,通常在纳米级别的垂直分辨率(如10纳米),并具有较高的横向分辨率(
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    白光干涉仪测量原理 基本原理:白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束,一束光经被测表面反射回来,另一束光经参考镜反射,两束反射 光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化会灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起。通过测量干涉条纹的变化,就可以测量出被测表面的相关物理
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    白光干涉仪和共聚焦显微镜都是微纳米级表面光学分析仪器,具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点,并都能表征微观形貌的轮廓尺寸。然而,它们在测量原理、应用及特点上存在显著的差异,以下是对两者的详细比较: 一、测量原理 1.白光干涉仪 ①利用白光干涉技术,结合精密Z向扫描模块和3D建模算法,对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。 ②通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,获取反映器件表面质量的2D、3D参
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    随着科技进步,显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量,其中包括光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)、共聚焦显微镜和台阶仪。有效评估材料表面的微观结构和形貌,从而指导生产过程、优化产品性能。 SuperVirewW光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪) 光学3D表面轮廓仪是一种利用白光干涉原理进行非接触式测量的高精度仪器。它通过分析反射光的干涉模式来重建表面的三维形貌。 非接
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    在精密测量领域,激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好,取决于具体的测量需求和样品特性。在选择适合特定应用的技术时,需要仔细考虑其特点和功能。 白光干涉仪 白光干涉仪是0.1nm纵向分辨率的光学3D轮廓仪,主要用于表面形貌的非接触式测量,能够提供纳米级分辨率的表面高度信息。它适合于测量光滑表面和具有高深宽比的结构,如半导体晶片、液晶产
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    通常都认为激光可以产生干涉,其实白光也能干涉,只不过相对于激光而言,白光产生干涉需要的条件比激光要苛刻。 激光波长单一,白光是宽带光。激光的相干长度很长,而白光相干长度甚至不足1μm。因此上实现白光干涉难度较大。 Mirau干涉物镜主要应用在白光干涉检测中,使用时只需要安装在光路中,调整到图像清晰就可以观察到白光干涉条纹。 激光干涉通常可以用到精密测量,甚至也可以计量。白光干涉的测量精度远高于激光干涉测量。因此
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    半导体晶圆形貌厚度测量面临着表面反射、多层结构、透明层等特殊材料和结构的干扰。这些干扰因素可能会导致测量结果的不准确甚至错误。因此,需要开发出能够针对不同材料和结构进行测量的算法和技术,以提高测量的准确性和可靠性。 W1-pro 光学3D表面轮廓仪X/Y方向标准行程为200*200mm,可完全覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。
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    一、什么是白光干涉仪 白光干涉仪是一种利用光干涉原理来测试光学器件质量、测量物体形状和表面粗糙度的工具。它采用弱凝聚的白色光源,有利于改善分辨率和测试结果的稳定性。同时,白光干涉仪可以用于预测视觉效果并提高光学系统的质量。 二、白光干涉仪的作用 1.测量光学元件的质量 白光干涉仪可以测量光学元件(如透镜、棱镜、光栅)的质量,通过检测光程差来检测元件的表面形状和质量。其中,光程差是指光线通过元件的不同路径,
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    白光干涉仪广泛应用于科学研究和工程实践各个领域中。它作为一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器,在测量坑的形貌方面扮演着举足轻重的角色。 白光干涉仪怎么测量坑的形貌?它是利用干涉现象,使用白光源照射物体,并将反射光经过干涉仪的分光装置后形成干涉图样。通过观察干涉图样的变化,就可以获得物体表面形貌的细节信息。 如何使用白光干涉仪来测量坑的形貌?在使用白光干涉仪测量坑的形貌时,将白光
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    纳米科技的迅猛发展将我们的视野拓展到了微观世界,而测量纳米级尺寸的物体和现象则成为了时下热门的研究领域。纳米级测量仪器作为一种重要的工具,扮演着重要的角色。那么,如何才能准确测量纳米级物体呢? 在纳米级测量中,由于物体尺寸的相对较小,传统的测量仪器往往无法满足精确的要求。而纳米级测量仪器具备高精度、高分辨率和非破坏性的特点,可以测量微小的尺寸。 1、光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪) SuperViewW1光学3D表面轮廓
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    白光干涉仪能否用于测量透明材料呢?答案是肯定的。对于透明材料来说,其特点是能够让光线穿过并且不发生明显的散射。透明材料的光学性质主要包括透射率、折射率、反射率等。白光干涉仪可以利用透明材料的反射、透射等光学特性来实现测量。它在测量透明材料时,一般会使用分束器将光束分为两束,一束垂直入射到待测透明材料表面上,另一束则绕过透明材料后与反射光相交,在干涉屏上产生干涉条纹。通过测量干涉条纹的间距及其变化,
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    可以。白光干涉仪可以测量金属的形状、表面缺陷、几何尺寸等多个方面: 1、形状测量。光学3D表面轮廓仪可以快速、准确地获取金属表面的曲率、凹凸等特征。 2、表面缺陷检测。光学3D表面轮廓仪可以实时捕捉金属表面的瑕疵、划痕、凹陷等问题,以便及时修复和改进。 3、几何尺寸测量。光学3D表面轮廓仪可以测量金属制品的长度、宽度、高度等维度参数。 除了测量金属表面的形状和轮廓外,光学3D表面轮廓仪还可以生成三维点云数据和色彩图像
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    可以。在实际应用中,白光干涉仪的测量对象可以是各种类型的材料,例如金属、陶瓷、塑料等。无论是同质材料还是非同质材料的测量,白光干涉仪的干涉图样分析和计算方法都可以提供准确而详细的测量结果: 1、同质材料具有相似的光学特性,因此可以采用简化的分析方法。利用干涉仪图样的分析,可以直接获得相关参数(如膜层厚度、表面粗糙度、膜层折射率等),从而得到准确的测量结果。 2、对于非同质材料,由于其光学特性的差异性,
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    现在遇到一个问题就是,结果图受到了载物平台(劈尖)的影响使得结果图会有一定的倾斜,这种倾斜能通过怎么操作去去除吗
    PM9A1 7-4
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    表面形貌即为表面微观几何形态,不仅对接触零件的机械和物理特性起着决定作用,而且对一些非接触零件的光学和外部特性影响也很大。所以对表面形貌的精准测量能正确地识别出加工过程的变化和缺陷,对研究表面几何特性与使用性能的关系、控制和改进加工方法等都有着显著的意义。 随着微电子技术、光学技术、计算机技术、传感技术、信号分析和处理技术等飞速发展,对表面形貌测量精度不断提高,从微米尺度进入了纳米甚至是亚纳米尺度
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    分享一组国产干涉物镜的检测图片
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    自动拼接测量功能 操作步骤 1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心 2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合; 3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件; 4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹; 5.设置好扫描方式和扫描范围; 6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误; 7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状; 8.根据被测物形状和尺寸,"形状”栏选择“椭圆平
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    白光干涉仪的拼接功能,能够针对样品的同一区域进行不同模式的检测。3轴光栅闭环反馈,在样品表面抽取多个区域测量,可以快速实现大区域、高精度的测量,从而对样品进行评估分析。不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。 自动拼接功能 SuperViewW1白光干涉仪XY载物台标准行程为140*110mm,可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,局部位移精度可达亚微米级别,可以测量非常微小尺寸的器件;也可以使用自动拼接测量、定
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    SuperViewW1 白光干涉仪 超光滑透镜测量

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